日本Panasonic公開半導體設備汙染程度可視化系統

在半導體製造現場，為確認設備狀態，技術人員會定期進行設備檢查並更換零件，然而，不小心更換尚可使用的零件、或是延誤檢查設備狀態等問題仍存在，因而造成維護成本增加及技術人員的工作負荷。

日本的企業 Panasonic Connect 在日前舉行的「Factory Solution Conference 2023」展會上發布了名為「PSX307-HSA」的應用程式，可以對電漿清洗器「PSX307」（用於半導體製造後工程的金屬接合和樹脂附著）進行設備狀態打分，選擇在最佳時間進行維護。

「PSX307-HSA」是由日本IBM和Panasonic共同開發的數據分析系統，該系統從生產中的設備中連續提取各種感應器數據，利用獨特的數據分析方法將設備狀態可視化，並確定狀態變化的原因。該系統能夠預測適當的維護時間，以利提前準備保養零件，並支援同時處理最多100台設備。此外，還能顯示設備的污垢程度和對應的維護建議。污染程度以百分比表示，以綠色（穩定狀態）、黃色（建議訂購零件）和紅色（建議進行保養）三種顏色表示設備狀態。

「PSX307-HSA」數據分析系統，可以持續監測半導體製造設備的運作狀態，並且給予保養建議，不僅能節省成本，更幫助提高生產效率。有望成為半導體製造業未來的重要技術，並帶來更多的效益和優勢。

資料來源：my navi新聞（2023-02-20）
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